Halbleiterwerkzeug-Überwachung

Genaue und stabile Messwertgeber ermöglichen die enge Kontrolle der Mikroumgebungen, in denen Halbleiterwerkzeuge genutzt werden.

Vaisala bietet kompakte OEM-Module für die Messung von relativer Feuchte und Luftdruck.

Zugehörige Produkte

DMT152 Taupunktmesswertgeber für die Messung niedriger Taupunkte in OEM-Anwendungen

Taupunktmesswertgeber DMT152

Taupunktmessung in sehr trockenen Umgebungen
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Indigo520 mit Sonde

Messwertgeber der Serie Indigo500

Die Vaisala Messwertgeber der Serie Indigo500 sind Host-Geräte für Vaisala Indigo-kompatible, eigenständige intelligente Sonden. Die Indigo500 Serie umfasst multifunktionale Indigo520 Messwertgeber und Indigo510 Messwertgeber mit Basisfunktionen.

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