Halbleiterwerkzeug-Überwachung

Genaue und stabile Messwertgeber ermöglichen die enge Kontrolle der Mikroumgebungen, in denen Halbleiterwerkzeuge genutzt werden.

Vaisala bietet kompakte OEM-Module für die Messung von relativer Feuchte und Luftdruck.

Zugehörige Produkte

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OPC-Server

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