Halbleiterrefraktometer

Vaisala K‑PATENTS® Halbleiterrefraktometer  sind kompakte Produkte,  die nur eine geringe Stellfläche benötigen. Sie sind speziell dafür ausgelegt, in ein Halbleiterprozesswerkzeug oder in einen ultrareinen Schrank integriert zu werden, und bieten Messtechnik für Konzentrationsmessungen nasser Chemikalien.